А. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых булей или пластин

А. Машины и аппаратура для производства полупроводниковых

булей или пластин

К данной категории относятся машины и аппаратура для производства булей или пластин, такие как:

1. Плавильные печи для зонной плавки и очистки кремневых стержней, печи для оксидирования поверхности пластин и диффузионные печи для легирования пластин специальными примесями.

2. Установки для выращивания кристаллов и экстракторы для производства монокристаллических полупроводниковых булей сверхвысокой чистоты, которые могут быть разрезаны на пластины.

3. Кристаллические дифракционные решетки, которые делят кристаллические були точно по диаметру, необходимому для пластин, и которые делят поверхность булей для индикации вида электропроводности и удельного сопротивления кристалла.

4. Пильные станки для нарезания пластин, которые нарезают пластины из булей из монокристаллического полупроводникового материала.

5. Станки для шлифования, притирки и полирования пластин, которые подготавливают полупроводниковые пластины к процессу производства, что включает придание пластинам допустимых размеров. Особенно важна толщина поверхности.

6. Химические механические полировальные машины (СМР), которые выравнивают и полируют пластины сочетанием химического удаления и механической подшлифовки.