3.4. Программное обеспечение

3.4.1. Программное обеспечение,

специально разработанное для

разработки или производства

оборудования, контролируемого по

пунктам 3.1.1.2 - 3.1.2.7 или по

пункту 3.2

3.4.2. Программное обеспечение,

специально разработанное для

применения в любом нижеследующем

оборудовании:

а) контролируемом по пунктам

3.2.1.1 - 3.2.1.6; или

б) контролируемом по пункту 3.2.2

3.4.3. Физически обоснованное программное

обеспечение моделирования,

специально разработанное для

разработки процессов литографии,

травления или осаждения с целью

воплощения маскирующих шаблонов

в конкретные топографические

рисунки на проводниках,

диэлектриках или полупроводниках

Техническое примечание.

Под термином "физически

обоснованное" в пункте 3.4.3

понимается использование

вычислений для определения

последовательности физических

факторов и результатов

воздействия, основанных на

физических свойствах (например,

температура, давление, коэффициент

диффузии и полупроводниковые

свойства материалов)

Примечание.

Библиотеки, проектные атрибуты или

сопутствующие данные для

проектирования полупроводниковых

приборов или интегральных схем

рассматриваются как технология

3.4.4. Программное обеспечение,

специально разработанное для

разработки оборудования,

контролируемого по пункту 3.1.3