LVIII. Требования охраны труда в процессе упрочнения металла методом конденсации вещества с ионной бомбардировкой

499. Для удаления слоев испаряемых материалов со стенок рабочей камеры и с элементов внутрикамерных устройств установки диффузионной металлизации в тлеющем разряде необходимо производить профилактическую очистку рабочей камеры. Очистка должна производиться с соблюдением требований безопасности для термообработки в вакууме.

500. Съемные элементы внутрикамерных устройств установки при необходимости должны подвергаться химическому травлению с целью удаления следов осажденных пленок. После травления съемные элементы должны быть промыты проточной горячей и холодной водой и высушены в термостатах.

501. Испарители и навески испаряемого материала перед использованием их в вакуумной установке диффузионной металлизации в тлеющем разряде должны подвергаться очистке.

В процессе очистки испарители и навески сначала обезжиривают, затем травят в водных растворах кислот и щелочей, а перед использованием их в технологическом процессе осуществляют отжиг в вакууме.

502. Очищенные испарители хранят в спирте, а перед использованием высушивают на воздухе до полного высыхания спирта.

Навески испаряемого материала хранят в спирте или в эксикаторе с отожженным силикагелем.