Приказ Минтруда России от 03.02.2014 N 71н (ред. от 12.12.2016) "Об утверждении профессионального стандарта "Инженер-технолог в области производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем" (Зарегистрировано в Минюсте России 20.03.2014 N 31668)