3.2.3. Трудовая функция

Наименование

Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов

Код

B/03.7

Уровень (подуровень) квалификации

7

Происхождение трудовой функции

Оригинал

X

Заимствовано из оригинала

Код оригинала

Регистрационный номер профессионального стандарта

Трудовые действия

Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования

Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня

Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей

Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации)

Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов

Проведение верификации и проверки литографических правил

Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений)

Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов

Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных

Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования

Необходимые умения

Пользоваться технической документацией

Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблонов

Автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов

Применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов

Владеть методами проектирования фазосдвигающих фотошаблонов

Создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели

Использовать соответствующие программные средства

Необходимые знания

Технический английский язык

Основы технологии производства интегральных схем

Процессы электронно-лучевой литографии, лазерные генераторы изображения

Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов

Системы проектирования программных средств, языки программирования

Методики верификации фотошаблонов

Методики измерения критических размеров элементов фотошаблона

Маршруты аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня

Другие характеристики

-