Документ не вступил в силу. Подробнее см. Справку

Утверждены

постановлением Правительства

Российской Федерации

от 26 мая 2026 г. N 601

ИЗМЕНЕНИЯ,
КОТОРЫЕ ВНОСЯТСЯ В ПРИЛОЖЕНИЕ К ПОСТАНОВЛЕНИЮ ПРАВИТЕЛЬСТВА
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ОТ 17 ИЮЛЯ 2015 Г. N 719

1. В разделе IX:

а) после позиции, классифицируемой кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.51.70.190, дополнить позициями следующего содержания:

"28.99.20.110

Оборудование для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих технологических операций:

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

реактор и (или) вакуумная камера (30 баллов);

запорно-вакуумная арматура (10 баллов);

механизм загрузки-выгрузки пластин (10 баллов);

механизм перемещения пластины в установке (20 баллов);

источники прекурсоров для эпитаксиального роста (молекулярные источники и (или) инжекторы газов) (30 баллов);

система подачи и коммутации рабочих газов (10 баллов);

тигли, и (или) нагреватели, и (или) подложкодержатели из пиролитического нитрида бора, и (или) изостатического графита, и (или) кварца, и (или) вакуумно-плотной керамики (20 баллов);

приборы контроля технологического процесса (30 баллов);

вакуумные насосы, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 28.13.21 (30 баллов);

вакуумметр, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.51.52.130 (20 баллов);

источники питания постоянного тока и (или) индукционного нагрева (20 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

система автономного охлаждения (чиллер) (10 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

из 28.99.20.120

Оборудование литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций (условий):

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

источник излучения (30 баллов);

катодный узел (30 баллов);

объектив (30 баллов);

оптический тракт (30 баллов);

электронно-оптическая система (30 баллов);

вакуумные насосы, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 28.13.21 (30 баллов);

детектор электронов (10 баллов);

модуль совмещения (30 баллов);

механизм загрузки-выгрузки пластин (10 баллов);

механизм перемещения пластины в установке (20 баллов);

источник высоковольтного питания (30 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014

(КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом

по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

28.99.20.130

Оборудование для ионной имплантации примесей в полупроводниковые пластины

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций (условий):

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

ионный источник (30 баллов);

ускоритель ионов (30 баллов);

реактор и (или) вакуумная камера (30 баллов);

модуль контроля параметров ионного пучка (30 баллов);

приборы контроля технологического процесса (30 баллов);

запорно-вакуумная арматура (10 баллов);

вакуумные насосы, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 28.13.21 (30 баллов);

система автономного охлаждения (чиллер) (10 баллов);

механизм перемещения пластины в установке (20 баллов);

механизм загрузки или выгрузки пластин (10 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

вакуумметр, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.51.52.130 (10 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014

(КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

из 28.99.20.140

Оборудование для производства полупроводниковых слитков (булей)

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций (условий):

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

станина, и (или) основание, и (или) рама (10 баллов);

тепловой узел (30 баллов);

рабочая камера (20 баллов);

устройство резистивного и (или) индукционного нагрева (20 баллов);

механизм вытягивания, вращения монокристалла и (или) механизм перемещения, загрузки тиглей в рабочую камеру (20 баллов);

тигли, и (или) нагреватели, и (или) подложкодержатели из пиролитического нитрида бора, и (или) изостатического графита, и (или) кварца, и (или) вакуумно-плотной керамики, и (или) материалов теплоизоляции (20 баллов);

системы снятия температурного профиля (10 баллов);

вакуумные насосы, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 28.13.21 (20 баллов);

газо-вакуумная система (20 баллов);

гидросистема (система охлаждения теплового узла) (10 баллов);

пневмосистема (20 баллов);

узел питания (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

из 28.99.20.140

Оборудование для термической обработки пластин, в том числе: процессов окисления пластин, химического осаждения покрытий из газовой фазы на пластинах, диффузии примесей в пластинах

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций:

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

рабочая камера (20 баллов);

запорно-вакуумная арматура (10 баллов);

вакуумные насосы, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 28.13.21 (30 баллов);

вакуумметр, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.51.52.130 (20 баллов);

механизм загрузки-выгрузки пластин (10 баллов);

механизм перемещения и позиционирования пластин в установке (20 баллов);

тепловой узел с системой контроля температуры (30 баллов);

система подачи и коммутации рабочих газов (10 баллов);

система автономного охлаждения (чиллер) (10 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

28.99.20.150

Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций:

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

реактор или вакуумная камера (30 баллов);

запорно-вакуумная арматура (10 баллов);

вакуумные насосы (30 баллов);

вакуумметр, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.51.52.130 (20 баллов);

механизм загрузки-выгрузки пластин (10 баллов);

механизм перемещения пластины в установке (30 баллов);

система позиционирования и нагрева пластин (30 баллов);

источник (магнетрон, и (или) электронно-лучевой источник, и (или) источник плазмы, и (или) ионный источник и т.п.) (30 баллов);

высокочастотный генератор с согласующим устройством и (или) источник постоянного тока испарителя (20 баллов);

система подачи газов (20 баллов);

изделия из графита, и (или) кварца, и (или) вакуумно-плотной керамики (20 баллов);

приборы контроля технологического процесса (10 баллов);

система автономного охлаждения (чиллер) (10 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

28.99.20.160

Оборудование лазерное для обработки полупроводниковых пластин

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций:

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

источник излучения (30 баллов), классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.70.23.120;

оптический блок (10 баллов);

система доставки лазерного излучения (20 баллов);

приборы контроля технологического процесса (10 баллов);

системы позиционирования (30 баллов);

механизм загрузки или выгрузки пластины (10 баллов);

механизм перемещения пластины в установке (20 баллов);

источник бесперебойного питания, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.40.111 (10 баллов);

электротехнические компоненты, классифицируемые кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 27.12 (10 баллов);

каркас и (или) станина установки (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)

из 28.99.20.170

Оборудование полировки и шлифовки полупроводниковых пластин

наличие у юридического лица - налогового резидента Российской Федерации, не находящегося под контролем иностранного государства, и (или) международной организации, и (или) иностранного юридического или физического лица, и (или) иностранной структуры без образования юридического лица <12(1)>, либо индивидуального предпринимателя - налогового резидента и гражданина Российской Федерации, не являющегося иностранным агентом в соответствии с Федеральным законом "О контроле за деятельностью лиц, находящихся под иностранным влиянием", прав на конструкторскую и технологическую документацию в объеме, достаточном для проектирования, производства, модернизации и развития соответствующей продукции на территории Российской Федерации;

наличие на территории одного из государств - членов Евразийского экономического союза сервисного центра, уполномоченного осуществлять ремонт, гарантийное и послегарантийное обслуживание оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации следующих операций:

сборка готового изделия;

установка и отладка программного обеспечения;

наладка и тестирование оборудования;

осуществление на территории Российской Федерации отработки базового технологического процесса (20 баллов);

применение произведенных на территории Российской Федерации или подвергнутых механической обработке (если применимо) и сборке на территории Российской Федерации следующих компонентов в составе и количестве, предусмотренных конструкторской документацией:

станина, и (или) основание, и (или) рама (10 баллов);

кабинетная защита (в том числе ограждение зоны обработки пластин) (10 баллов);

изделия из чугуна (20 баллов);

коробка передач, редукторы и ременные передачи (10 баллов);

мотор-шпиндель, и (или) шпиндели, и (или) планшайба (30 баллов);

стол рабочий и (или) поворотный с одной и более управляемыми осями вращения (20 баллов);

шарико-винтовые передачи, и (или) винтовые передачи скольжения или качения, и (или) узлы перемещения планшайб (20 баллов);

направляющие качения (10 баллов);

гидросистема (система охлаждения или термостабилизации зон обработки пластин) (10 баллов);

система вакуумная и (или) механизм распределения усилия давления на пластины (20 баллов);

система подачи и очистки смазочно-охлаждающих жидкостей (10 баллов);

пневмосистема (10 баллов);

узел управления питанием установки (10 баллов);

узел управления установкой (20 баллов);

система аспирации (10 баллов);

центральный контроллер системы управления, классифицируемый кодом по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) 26.20.30.120 (20 баллов);

устройства сопряжения с исполнительными устройствами (20 баллов);

применение в составе изделия следующего программного обеспечения, включенного в единый реестр российских программ для электронных вычислительных машин и баз данных:

пользовательское программное обеспечение, включая сервисное (при наличии) программное обеспечение верхнего уровня (30 баллов);

программное обеспечение нижнего уровня (30 баллов)";

б) позицию, классифицируемую кодами по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) из 28.99.20.000, из 28.99.51.000, исключить;

в) позицию, классифицируемую кодами по ОК 034-2014 (КПЕС 2008) из 28.99.20.000, из 28.99.51.000, из 28.41.11.000, исключить.

2. Примечание 26(1) дополнить абзацами следующего содержания:

"28.99.20.110 "Оборудование для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 130 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 190 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 250 баллов;

из 28.99.20.120 "Оборудование литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 80 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 160 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 170 баллов;

28.99.20.130 "Оборудование для ионной имплантации примесей в полупроводниковые пластины" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 180 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 210 баллов;

из 28.99.20.140 "Оборудование для производства полупроводниковых слитков (булей)" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 90 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 140 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 210 баллов;

из 28.99.20.140 "Оборудование для термической обработки пластин, в том числе: процессов окисления пластин, химического осаждения покрытий из газовой фазы на пластинах, диффузии примесей в пластинах" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 80 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 150 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 170 баллов;

28.99.20.150 "Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 90 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 230 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 250 баллов;

28.99.20.160 "Оборудование лазерное для обработки полупроводниковых пластин" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 70 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 140 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 160 баллов;

из 28.99.20.170 "Оборудование полировки и шлифовки полупроводниковых пластин" - для признания радиоэлектронной продукцией, произведенной на территории Российской Федерации, с 1 сентября 2026 г. до 31 декабря 2028 г. - не менее 90 баллов, с 1 января 2029 г. до 31 декабря 2031 г. - не менее 160 баллов, с 1 января 2032 г. - не менее 210 баллов.".