2.5. Технология

2.5.

Технология

2.5.1.

Технологии в соответствии с общим технологическим примечанием для разработки программного обеспечения, определенного в пункте 2.4, или разработки либо производства следующего оборудования:

а) определенного в пункте 2.2.1.1, подпункте "а" пункта 2.2.1.2 или подпункте "б" пункта 2.2.1.2 раздела 1 и имеющего однонаправленную повторяемость позиционирования вдоль одной линейной оси или более, равную 0,9 мкм или менее (лучше);

б) определенного в подпункте "б" пункта 2.2.1.2, пункте 2.2.1.4, 2.2.1.6 или 2.2.3 раздела 1