3.1.4. Трудовая функция

Наименование

Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим заданием

Код

A/04.6

Уровень (подуровень) квалификации

6

Происхождение трудовой функции

Оригинал

X

Заимствовано из оригинала

Код оригинала

Регистрационный номер профессионального стандарта

Трудовые действия

Проведение верификации параметров исходной топологии (тональность, критичные размеры, габаритные размеры поля фотошаблона, координаты центра, наличие маркировки, метки совмещения, метки для проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования

Проведение обработки топологии фотошаблона в соответствии с требованиями технического задания (операции позиционирования слоя, изменение тональности слоя, коррекции размеров для каждого слоя, коррекции эффектов оптической близости, коррекции фазового сдвига для слоя с применением фазосдвигающих масок)

Необходимые умения

Проверять ключевые параметры топологии (тональность, критичные элементы, габаритные размеры, метки совмещения, метки проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования

Проводить конвертацию топологических данных во внутренний формат оборудования

Владеть методологией коррекции оптических эффектов близости, контроля линейных размеров топологических элементов

Проводить обработку топологии фотошаблонов в соответствии с требованиями технического задания

Создавать служебные элементы фотошаблонов: метки совмещения, мультипликации, штрих-код, текстовые метки

Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблона

Необходимые знания

Технический английский язык

Оптика - дифракция, интерференция

Процессы электронно-лучевой и оптической литографии

Целевые системы автоматизированного проектирования

Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов

Методики верификации фотошаблонов

Возможности скриптовых языков

Базовые маршруты разработки и верификации сверхбольших интегральных схем, в том числе систем на кристалле

Другие характеристики

-