Таблица 2. Структура программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих

Индекс

Наименование учебных циклов, разделов, модулей, требования к знаниям, умениям, практическому опыту

Всего максимальной учебной нагрузки обучающегося (час./нед.)

В т.ч. часов обязательных учебных занятий

Индекс и наименование дисциплин, междисциплинарных курсов (МДК)

Коды формируемых компетенций

Обязательная часть учебных циклов ППКРС и раздел "Физическая культура"

1768

1152

Общепрофессиональный учебный цикл

480

320

В результате изучения обязательной части учебного цикла обучающийся по общепрофессиональным дисциплинам должен:

уметь:

читать чертежи, проекты, структурные, монтажные и простые принципиальные электрические схемы;

выполнять чертежи, структурные, монтажные и простые принципиальные электрические схемы;

знать:

требования Единой системы конструкторской документации (ЕСКД);

основные правила построения чертежей и схем;

виды нормативно-технической документации;

виды чертежей, проектов, структурных, монтажных и простых принципиальных электрических схем;

правила чтения технической и конструкторско-технологической документации

ОП.01. Основы инженерной графики

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 2.1

ПК 3.1

ПК 3.2

ПК 3.3

уметь:

определять отклонения формы поверхностей;

применять средства измерения для оценки формы поверхностей;

знать:

кинематические схемы механизмов;

типовые детали и сборочные механизмы, применяемые в электронном машиностроении;

способы соединения деталей в оборудовании;

виды передачи вращательного движения и преобразования движений;

понятие взаимозаменяемости, систему допусков и посадок;

методы и средства измерения

ОП.02. Основы технической механики

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 2.1

уметь:

выполнять типовые слесарные операции;

выполнять сборку разъемных и неразъемных соединений;

выполнять сборку механизмов вращательного движения и передачи движения;

пользоваться контрольно-измерительным инструментом;

контролировать качество сборки, обнаруживать и устранять дефекты;

знать:

слесарный инструмент, приспособления и оснастку для сборки;

технологии выполнения слесарных операций и сборочных работ;

методы и средства контроля качества слесарных и сборочных работ

ОП.03. Основы слесарно-сборочных работ

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 2.1

уметь:

рассчитывать параметры электрических цепей;

измерять параметры и характеристики электрических цепей;

знать:

виды, параметры и характеристики электрических цепей;

методы расчета электрических цепей;

методы измерения параметров электрических цепей

ОП.04. Основы электротехники

ОК 1 - 7

ПК 1.1 - 1.3

ПК 2.1 - 2.5

ПК 3.1 - 3.3

уметь:

по технической документации определять тип, назначение, параметры и характеристики различных видов изделий электронной техники;

рассчитывать основные параметры различных видов дискретных изделий электронной техники;

измерять с помощью контрольно-измерительных приборов параметры и характеристики различных видов изделий электронной техники;

знать:

основы физики твердого тела, твердотельных и пленочных структур;

классификацию изделий электронной техники по назначению, конструкции, мощности, частоте, используемым материалам;

устройство, конструктивно-технологическое исполнение, принципы и режимы работы различных видов изделий электронной техники;

методы измерения параметров изделий электронной техники;

основы применения различных видов изделий электронной техники

ОП.05. Основы электронной техники

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 1.2

ПК 2.1 - 2.4

ПК 3.1 - 3.3

уметь:

эксплуатировать контрольно-измерительное оборудование для измерения параметров и характеристик материалов для производства изделий электронной техники;

измерять параметры и характеристики материалов для производства изделий электронной техники;

знать:

характеристики и свойства материалов для производства изделий электронной техники;

способы получения и обработки материалов для производства изделий электронной техники;

физико-химические основы обработки материалов для производства изделий электронной техники

ОП.06. Основы электронного материаловедения

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 1.2

ПК 2.1 - 2.3

ПК 3.1 - 3.3

уметь:

собирать и эксплуатировать вакуумные и газовые системы;

измерять вакуум и давление газа с помощью контрольно-измерительных приборов;

определять и устранять неисправности вакуумных и газовых систем;

знать:

способы и средства получения вакуума;

вакуумные системы технологического оборудования и их элементы;

технику измерения вакуума и парциальных давлений остаточных газов;

методы определения негерметичности элементов и систем;

технологии сборки вакуумных систем;

правила запуска вакуумных систем;

газовые системы питания технологического оборудования (автономные и баллонные);

правила сборки и запуска газовых систем;

правила и приборы измерения давления газов

ОП.07. Основы вакуумных и газовых систем

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 1.2

ПК 2.1 - 2.3

уметь:

выполнять технологические процессы плазмохимической и элионной обработки структур в соответствии с технической документацией;

контролировать, регулировать и корректировать режимы плазмохимической и элионной обработки структур в производстве изделий электронной техники (по видам);

знать:

основные процессы плазмохимической и элионной обработки структур для изделий электронной техники;

технологические маршруты микроэлектронного производства;

виды оборудования, применяемого в плазмохимической и элионной обработке структур изделий электронной техники (по видам);

правила эксплуатации технологического оборудования

ОП.08. Технология и оборудование для плазмохимической и элионной обработки структур изделий электронной техники

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 1.2

ПК 2.1 - 2.3

ПК 3.1 - 3.3

уметь:

правильно применять вычислительную технику и автоматизированные системы управления в производстве изделий электронной техники;

оформлять техническую документацию и результаты измерений с использованием электронно-вычислительных машин;

знать:

основные сведения о вычислительных системах и автоматизированных системах управления;

основные устройства вычислительных систем, их назначение и функционирование;

структуру программных средств, применяемых в производстве изделий электронной техники

ОП.09. Информационные технологии в производстве изделий электронной техники

ОК 1 - 7

ПК 1.1

ПК 2.1

ПК 3.1 - 3.3

уметь:

организовывать и проводить мероприятия по защите работающих и населения от негативных воздействий чрезвычайных ситуаций;

предпринимать профилактические меры для снижения уровня опасностей различного вида и их последствий в профессиональной деятельности и быту;

использовать средства индивидуальной и коллективной защиты от оружия массового поражения; применять первичные средства пожаротушения;

ориентироваться в перечне военно-учетных специальностей и самостоятельно определять среди них родственные полученной профессии;

применять профессиональные знания в ходе исполнения обязанностей военной службы на воинских должностях в соответствии с полученной профессией;

владеть способами бесконфликтного общения и саморегуляции в повседневной деятельности и экстремальных условиях военной службы;

оказывать первую помощь пострадавшим;

знать:

принципы обеспечения устойчивости объектов экономики, прогнозирования развития событий и оценки последствий при техногенных чрезвычайных ситуациях и стихийных явлениях, в том числе в условиях противодействия терроризму как серьезной угрозе национальной безопасности России;

основные виды потенциальных опасностей и их последствия в профессиональной деятельности и быту, принципы снижения вероятности их реализации;

основы военной службы и обороны государства;

задачи и основные мероприятия гражданской обороны;

способы защиты населения от оружия массового поражения; меры пожарной безопасности и правила безопасного поведения при пожарах;

организацию и порядок призыва граждан на военную службу и поступления на нее в добровольном порядке;

основные виды вооружения, военной техники и специального снаряжения, состоящих на вооружении (оснащении) воинских подразделений, в которых имеются военно-учетные специальности, родственные профессиям СПО;

область применения получаемых профессиональных знаний при исполнении обязанностей военной службы;

порядок и правила оказания первой помощи пострадавшим

64

ОП.10. Безопасность жизнедеятельности

ОК 1 - 7

ПК 1.1 - 1.3

ПК 2.1 - 2.5

ПК 3.1 - 3.3

ПМ.00

Профессиональный учебный цикл

1128

752

ПМ.00

Профессиональные модули

1128

752

ПМ.01

Выполнение операций плазмохимической обработки структур изделий электронной техники (ИЭТ)

В результате изучения профессионального модуля обучающийся должен:

иметь практический опыт:

эксплуатации и обслуживания технологических установок для плазмохимической обработки структур изделий электронной техники;

выполнения операций плазмохимической обработки структур для изделий электронной техники;

уметь:

включать, готовить к работе, регулировать и выключать технологическое оборудование, применяемое для плазмохимической обработки структур изделий электронной техники;

измерять параметры и режимы работы технологического оборудования;

контролировать, корректировать и регулировать параметры и режимы технологического оборудования;

выполнять аварийное выключение технологического оборудования;

осуществлять загрузку пластин в установку и их выгрузку;

подготавливать и включать электродную систему;

выполнять плазмохимические процессы травления, снятия фоторезиста, осаждения двуокиси кремния;

настраивать установку на точность и воспроизводимость параметров плазмохимического процесса;

поддерживать и корректировать режимы плазмохимической обработки;

контролировать состояние системы напуска плазмообразующих газов;

контролировать качество и толщину нанесенных пленок;

соблюдать правила техники безопасности при выполнении технологических операций;

оформлять приемку и сдачу партий, заполнять сопроводительную документацию;

знать:

типы и принцип действия технологического оборудования, применяемого при плазмохимической обработке структур ИЭТ: ионно-плазменного, радикального, плазменного, реактивного ионно-лучевого и реактивного ионно-плазменного;

правила запуска и эксплуатации технологического оборудования;

параметры и режимы работы технологического оборудования;

порядок регулировки параметров и режимов технологического оборудования;

возможные причины отказов в работе технологического оборудования и способы их устранения;

технологические процессы плазмохимического травления: ионно-плазменного, радикального, плазменного, реактивного ионно-лучевого и реактивного ионно-плазменного;

возможные виды дефектов при плазмохимической обработке;

правила техники безопасности при выполнении технологических операций;

техническую и технологическую документацию

МДК.01.01. Технология напыления тонких пленок и измерения их параметров

ОК 1 - 7

ПК 1.1 - 1.3

ПМ.02

Выполнение операций элионной обработки структур изделий электронной техники

В результате изучения профессионального модуля обучающийся должен:

иметь практический опыт:

эксплуатации и обслуживания технологических установок для элионной обработки структур изделий электронной техники;

выполнения операций элионной обработки структур на установках специализированного и универсального типов и с программным управлением;

уметь:

включать технологическое оборудование, применяемое для элионной обработки структур;

готовить к работе технологическое оборудование, применяемое для элионной обработки структур;

регулировать технологическое оборудование, применяемое для элионной обработки структур;

измерять параметры и режимы работы технологического оборудования для элионной обработки структур изделий электронной техники;

корректировать и регулировать параметры и режимы технологического оборудования для элионной обработки структур;

проводить профилактические осмотры оборудования элионных процессов;

проводить регламентные работы на оборудовании для элионной обработки структур изделий электронной техники;

выполнять аварийное выключение технологического оборудования для элионной обработки структур изделий электронной техники;

включать форвакуумные насосы;

производить вывод высоковакуумных агрегатов в рабочий режим, включение вспомогательного электрического оборудования, загрузку контейнера с обрабатываемым материалом (пластинами) в приемное устройство;

проводить подготовку и включение ионного (электронного) источника;

осуществлять контроль за работой оборудования с помощью контрольно-измерительных приборов;

поддерживать заданные режимы обработки;

выполнять настройку установок на заданный технологический режим работы;

вводить информацию в вычислительную машину для управления технологическим процессом элионной обработки структур изделий электронной техники;

соблюдать правила техники безопасности при выполнении технологических операций;

оформлять приемку и сдачу партий, заполнять сопроводительную документацию;

знать:

типы, устройство и принцип действия электроно-лучевого оборудования для термических процессов: несфокусированным электронным пучком с целью обезгаживания и переплава материалов;

сфокусированным электронным пучком для электронно-лучевой сварки;

остросфокусированным электронным пучком для размерной обработки;

типы, устройство и принцип действия оборудования электронно-лучевой литографии;

типы, устройство и принцип действия оборудования ионного легирования;

правила запуска и эксплуатации технологического оборудования для элионной обработки структур;

общие сведения по наладке основных узлов и систем электронно-лучевого оборудования для термической и нетермической обработки;

возможные причины отказов в работе технологического оборудования и способы их устранения;

правила и порядок профилактических осмотров оборудования элионных процессов и проведение регламентных работ;

физические основы элионных процессов обработки;

технологический процесс элионной обработки структур;

устройство, принцип действия и правила обслуживания установок специализированного типа;

основы вакуумной техники в пределах выполняемой работы, особенности работы с высоковольтным оборудованием;

методы контроля элионного процесса обработки и системы вакуума в установке;

инструкции по эксплуатации установок;

устройство, принцип действия и правила обслуживания установок универсального типа и с программным управлением;

кинематическую и электрическую схемы установок универсального типа;

назначение и устройство контрольно-измерительных приборов;

правила и методы наладки установок на заданный режим;

основные методы подготовки и ввода информации в вычислительную машину для управления технологическим процессом;

правила техники безопасности при выполнении технологических операций;

техническую и технологическую документацию

МДК.02.01. Технология элионной обработки структур изделий электронной техники

ОК 1 - 7

ПК 2.1 - 2.5

ПМ.03

Контроль качества однослойных и многослойных полупроводниковых, диэлектрических и иных структур, прошедших элионную обработку

В результате изучения профессионального модуля обучающийся должен:

иметь практический опыт:

визуального контроля качества обработанных поверхностей и структур;

контроля толщины нанесенных пленок и линейных размеров элементов с помощью микроскопа;

контроля толщины обработанных микрослоев на микроинтерферометрах различных типов;

уметь:

определять качество обработки пластин с помощью микроскопов;

выполнять оценку уровня селективности, анизотропии, равномерности;

выполнять классификацию пластин по видам брака;

измерять линейные размеры элементов с помощью микроскопа;

проводить контрольные измерения параметров пластин после обработки;

выполнять классификацию структур по видам брака;

оформлять документацию по результатам контроля;

заполнять сопроводительную документацию;

соблюдать правила техники безопасности при выполнении технологических операций;

знать:

основы процесса плазмохимического травления;

свойства пленок, подвергающихся плазмохимической обработке;

оценку стойкости фоторезистивных масок к воздействию газоразрядной плазмы;

типы оптических микроскопов: основные сведения, устройство, порядок работы, методику измерений;

метод выборочного проведения контрольных измерений параметров пластин после обработки;

порядок оценки уровня селективности, анизотропии, равномерности;

правила настройки приборов для контроля процесса обработки;

техническую и технологическую документацию на контролируемые пластины;

методы определения толщины окислов;

требования и принцип работы приборов для измерения толщины пленки;

ионизационный и частотный методы измерения;

методы определения толщины слоев и глубины травления;

устройство и порядок настройки интерферометров;

техническую и технологическую документацию на контролируемые структуры;

правила оформления документации по результатам контроля;

правила техники безопасности при выполнении технологических операций

МДК.03.01. Технология определения качества элионной обработки структур изделий электронной техники

ОК 1 - 7

ПК 3.1 - 3.3

ФК.00

Физическая культура

В результате освоения раздела обучающийся должен:

уметь:

использовать физкультурно-оздоровительную деятельность для укрепления здоровья, достижения жизненных и профессиональных целей;

знать:

о роли физической культуры в общекультурном, профессиональном и социальном развитии человека;

основы здорового образа жизни

160

80

ОК 2

ОК 3

ОК 6

ОК 7

Вариативная часть учебных циклов ППКРС

(определяется образовательной организацией)

432

288

Итого по обязательной части ППКРС, включая раздел "Физическая культура", и вариативной части ППКРС

2160

1440

УП.00

Учебная практика

38 нед.

1368

ОК 1 - 7

ПК 1.1 - 1.3

ПК 2.1 - 2.5

ПК 3.1 - 3.3

ПП.00

Производственная практика

ПА.00

Промежуточная аттестация

3 нед.

ГИА.00

Государственная итоговая аттестация

1 нед.