9031 Измерительные или контрольные приборы, устройства и машины, в другом месте данной группы не поименованные или не включенные; проекторы профильные

9031	Измерительные или контрольные приборы, устройства и машины, в другом месте данной группы не поименованные или не включенные; проекторы профильные:
9031 10 000	- машины балансировочные для механических частей	шт
9031 20 000	- стенды испытательные	шт
	- оптические приборы и устройства прочие:
9031 41 000	-- для проверки полупроводниковых пластин или устройств (включая интегральные схемы) или для проверки фотомасок или фотошаблонов, используемых в производстве полупроводниковых приборов (включая интегральные схемы)	шт
9031 49	-- прочие:
9031 49 100	--- проекторы профильные	шт
9031 49 900	--- прочие	шт
9031 80	- приборы, устройства и машины прочие:
	-- электронные:
	--- для измерения или контроля геометрических величин:
9031 80 320	---- для проверки полупроводниковых пластин или устройств или для проверки фотомасок или фотошаблонов, используемых в производстве полупроводниковых приборов	шт
9031 80 340	---- прочие	шт
9031 80 380	--- прочие	шт
	-- прочие:
9031 80 910	--- для измерения или контроля геометрических величин	шт
9031 80 980	--- прочие	шт
9031 90	- части и принадлежности:
9031 90 200	-- для аппаратуры подсубпозиции 9031 41 000 или для оптических приборов и устройств для измерения поверхностного загрязнения частицами полупроводниковых пластин подсубпозиции 9031 49 900	-
9031 90 300	-- для аппаратуры подсубпозиции 9031 80 320	-
9031 90 850	-- прочие	-

9030 Осциллоскопы, анализаторы спектра, прочие приборы и аппаратура для измерения или контроля электрических величин, кроме измерительных приборов товарной позиции 9028; приборы и аппаратура для обнаружения или измерения альфа-, бета-, гамма-, рентгеновского, космического или прочих ионизирующих излучений 9032 Приборы и устройства для автоматического регулирования или управления